European Tender Electron Beam Lithography system
De Universiteit Twente (MESA+ Institute) koopt een hoogwaardig Electron Beam Lithography systeem aan voor onderzoek en industrieel gebruik. De opdracht heeft een hoge waarde van €3,5 miljoen en richt zich op een zeer specialistische machine voor patronen op substraten tot 200mm. Gezien de technische complexiteit en de waarde is dit een grote, specialistische levering.